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台系设备厂切入薄膜太阳能领域，目前主要以非晶硅及铜铟镓硒（CIGS）领域为主，台系设备业者指出：由于开发薄膜太阳能设备成功关键在于制程设备，其与半导体制程类似，为台系业者欠缺之技术，开发难度远较先期预期来的高，恐怕未来能在薄膜设备领域成功者仅少数。
台系设备厂切入薄膜太阳能 非晶硅与CIGS成为主流
【摘 要】
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台系设备厂切入薄膜太阳能领域，目前主要以非晶硅及铜铟镓硒（CIGS）领域为主，台系设备业者指出：由于开发薄膜太阳能设备成功关键在于制程设备，其与半导体制程类似，为台系业者欠缺之技
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2009年6期
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