【摘 要】
：
通过对比混波UV-LED(Ultraviolet Light Emitting Diode)光源和单波UV-LED光源的性能和工艺实验,优化了混波UV-LED光源光刻工艺。光源性能主要对比了两种光源最大光照强度和
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所,杭州旻芯电子科技有限公司
论文部分内容阅读
通过对比混波UV-LED(Ultraviolet Light Emitting Diode)光源和单波UV-LED光源的性能和工艺实验,优化了混波UV-LED光源光刻工艺。光源性能主要对比了两种光源最大光照强度和光强均匀度,工艺实验选用不同光照强度15 mW/cm^(2)、20 mW/cm^(2),不同曝光时间3 s和5 s,样片显影后通过光学显微镜观察样片线条形貌。结果表明:混波UV-LED光源相比单波UV-LED光源最大光照强度下降,从47.2 mW/cm^(2)降至32.8 mW/cm^(2),光强
其他文献
目的分析血清微小RNA-152(miR-152)检测在非肌层浸润性膀胱癌(NMIBC)诊断和复发预测中的价值。方法前瞻性选取2016年6月至2017年6月航天中心医院收治的80例NMIBC患者作为病例
目的探讨超声脉冲电导治疗仪治疗腰椎间盘突出症的临床效果。方法回顾性分析南昌大学第二附属医院2019年1月~2020年1月诊治的200例腰椎间盘突出症患者临床资料,并按治疗方案
目的探讨分析甲巯咪唑对甲状腺功能亢进症患者甲状腺激素水平及肝功能的影响。方法前瞻性选择2016年1月至2019年1月在四川省林业中心医院就诊的86例甲状腺功能亢进症患者为研
目的研究超声引导下抗炎注射联合注射针松解术治疗老年人屈指肌腱狭窄性腱鞘炎的临床疗效。方法前瞻性分析2016年1月至2019年11月北京怀柔医院收治的150例60周岁以上的老年人
目的探讨不同胰岛素用药方式联合维生素D治疗妊娠期糖尿病(GDM)患者的临床效果及对妊娠结局的影响。方法选取2017年1月~2020年1月广东祈福医院收治的60例GDM患者作为研究对象
目的探讨微创胎粪吸引技术在羊水Ⅲ°粪染新生儿中的应用效果。方法选取2019年1~6月于广东医科大学附属海丰县彭湃纪念医院产科分娩羊水Ⅲ°粪染出生后入住新生儿监
目的探讨氨基葡萄糖联合玻璃酸钠关节腔内注射治疗膝骨关节炎(KOA)对患者膝关节功能的影响。方法选取2018年3月~2020年3月于赣州市人民医院治疗的82例KOA患者,采用随机数字表
目的探讨中性粒细胞与淋巴细胞比值(NLR)、胆红素与2型糖尿病周围血管病变的相关性。方法回顾性分析安徽省第二人民医院2018年3月至2019年12月在内分泌科就诊的205例2型糖尿
目的比较PEEK棒半刚性固定与钛棒刚性固定治疗腰椎管狭窄症的效果及创伤程度。方法前瞻性选择2018年8月至2019年8月在保定市第二中心医院接受内固定手术治疗的90例腰椎管狭窄
目的研究复杂性肾结石治疗中多通道经皮肾镜(PCNL)与单通道PCNL联合输尿管软镜(FURSL)的临床疗效及安全性。方法采用回顾性分析方法,研究对象为2019年1月至2020年1月丹东市第