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了电子整机系统与微电子技术的关系，介绍了世界半导体市场的增长情况．在讨论中规模、大规模、超大规模、特大规模集成电路各阶段的主要特征之后，分析了各主要技术的变化．同时预测到本世纪末前，微电子技术的十个主要发展动向．
微电子技术的发展展望
【摘 要】
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了电子整机系统与微电子技术的关系，介绍了世界半导体市场的增长情况．在讨论中规模、大规模、超大规模、特大规模集成电路各阶段的主要特征之后，分析了各主要技术的变化．同时预测
【机 构】
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清华大学微电子学研究所北京100084
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1993年6期
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