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通过对超声波清洗技术的理论分析以及实际工艺操作结果分析,与以往传统的清洗方式做一比较,说明了在清除微细污染物方面,超声波清洗技术在等离子体显示器件障壁基板清洗方面的优越性.
超声波清洗技术在等离子体显示器件基板上的应用
【摘 要】
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通过对超声波清洗技术的理论分析以及实际工艺操作结果分析,与以往传统的清洗方式做一比较,说明了在清除微细污染物方面,超声波清洗技术在等离子体显示器件障壁基板清洗方面
【机 构】
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西安交通大学电信学院
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2003年2期
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