化学气相沉积金刚石薄膜衬底的研究进展

来源 :金属热处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yinfeiyangfang

【摘要】

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讨论了化学气相沉积金刚石薄膜的各种衬底材料.气相合成金刚石衬底材料分为3类,第一类是能和碳形成碳化物的衬底;第2类是与碳不起反应(不形成碳化物)但能溶碳的衬底;第3类是

【作者】

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王天旭蒙继龙文命清

【机构】

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华南理工大学机械工程学院

【出处】

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金属热处理

【发表日期】

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2002年9期

【关键词】

：

化学气相沉积金刚石薄膜研究进展衬底材料预处理 diamond films substrate materials pre-treatment

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讨论了化学气相沉积金刚石薄膜的各种衬底材料.气相合成金刚石衬底材料分为3类,第一类是能和碳形成碳化物的衬底;第2类是与碳不起反应(不形成碳化物)但能溶碳的衬底;第3类是既不与碳反应又不溶碳的衬底.第一种一般与金刚石薄膜有比较好的粘合性,后两种虽然使金刚石成核容易,但衬底材料与金刚石薄膜结合性较差.采用预处理是促进化学气相沉积金刚石薄膜与增强结合力非常有效的方法.

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