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本文提出了一种利用表面处理状态的差异进行选择性生长,制备多晶金刚石薄膜图形的新方法,得到的薄膜线条宽约8μm,晶粒堆砌致密,大都显露三角形(111)面,其金刚石结构得到了拉曼光谱的确认。
金刚石薄膜的选择性生长
【摘 要】
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本文提出了一种利用表面处理状态的差异进行选择性生长,制备多晶金刚石薄膜图形的新方法,得到的薄膜线条宽约8μm,晶粒堆砌致密,大都显露三角形(111)面,其金刚石结构得到了拉
【机 构】
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上海交通大学,上海交通大学
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1990年2期
【基金项目】
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国家高科技和上海市自然科学基金
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