FSI国际收到全球性领先的晶圆厂对其ANTARES清洗系统的多套继续订单

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【摘要】

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FSI国际有限公司宣布：一家领先的亚洲晶圆厂再次定购多套ANTARES超凝态过冷动力学清洗系统，进一步提高了该平台安装数量。这项订单的签订，缘于该机台通过使用在线直流参数测试去

【出处】

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半导体技术

【发表日期】

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2006年12期

【关键词】

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清洗系统 FSI 晶圆订单国际球性参数测试去除工艺

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FSI国际有限公司宣布：一家领先的亚洲晶圆厂再次定购多套ANTARES超凝态过冷动力学清洗系统，进一步提高了该平台安装数量。这项订单的签订，缘于该机台通过使用在线直流参数测试去除生产残留物的能力，这些残留物曾被报告会导致良率的损失。这家晶圆代工厂目前使用ANTARES系统完成各种前段制程（FEOL）和后段制程（BEOL）中的微粒去除工艺，

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