用于线值计量的光栅式双光束干涉仪

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本文阐述了由衍射光栅和分光棱镜构成的干涉计量装置的干涉光路、干涉条纹的形成及条纹定位面,相位的调制原理。还讨论了本干涉系统与莫尔条纹系统的区别并作了比较。 In this paper, the interference light path, the formation of interference fringes and the localization of fringes and the phase modulation principle of the interferometric device composed of diffraction grating and dichroic prism are described. The differences between this interference system and the moiré fringe system are also discussed and compared.
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