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器件的调制传递函数（MTF）表征了光电成像器件对空间频率的对比度传递特性，可以全面地评价其成像性能。随着器件的发展，用MTF来评价器件越来越受到重视。针对近红外InGaAs焦平面器件MTF的测试需求，搭建了一套用狭缝法测试该波段线列器件MTF的系统。系统采用全反射式Offner光学结构将狭缝高质量地成像在待测器件上。成像光学结构由两块共轴的球面反射镜构成，1：1成像，F数为4；在芯片工作波长为1．7μm时，在高达8mm×30mm的宽视场内，20lp／mm（对应尺寸257μm×257μm