【摘 要】
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针对压电精密定位系统的精度与实时性问题，提出一种适于压电精密定位系统的模糊控制方法，实现了压电致动器的迟滞特性和阶跃响应的实验建模。设计了压电致动器的模糊控制器，结合
【基金项目】
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江苏省自然科学基金资助项目(BK2009350);江苏省高校自然科学基金资助项目(09KJB460005)
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针对压电精密定位系统的精度与实时性问题，提出一种适于压电精密定位系统的模糊控制方法，实现了压电致动器的迟滞特性和阶跃响应的实验建模。设计了压电致动器的模糊控制器，结合仿真结果，实现了基于32位嵌入式处理器S3C2410的压电精密定位模糊控制系统。测试结果表明：系统阶跃响应稳态误差小于0．1μm，调节时间在3ms以内，超调量小于20％；正弦响应误差范围为-0．24～0．20μm。
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