功能薄膜火焰法沉积中硼化合物助剂的影响

来源 :第十七届全国高技术陶瓷学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fzyfmm
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研究了不同添加量的硼助剂对火焰法沉积SiO2薄膜的形貌、结构及性能的影响.通过在含有硅和硼前驱物的同流扩散火焰上方沉积,获得了纳米结构的SiO2薄膜.SEM图像表明硼助剂导致了膜层颗粒物尺寸先增大后减小,薄膜沉积速率随着硼含量的增加逐渐增加.AFM的纳米力学定量测量(QNM,Bruker)结果表明:多种硼助剂添加量下,沉积膜的力学性能均得到了明显的提升.沉积膜经疏水化处理后,其超疏水性能变化体现了表面形貌、结构的差异.本文初步探索了硼助剂对沉积膜形貌、结构及性能影响的机理.
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