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涡轮分子泵的“内加热”除气法

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tianlanzhijian

【作 者】

：

王福玖 王宝林 胡问悌 徐守义 洪尊福 王德苗 任高潮 储建国 

【出 处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

2020年1期

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