【摘 要】
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随着现代半导体集成电路工艺的发展,栅的尺寸和氧化层的厚度越来越小,然而互连线的长度却有增加的趋势,这就造成了与之相关的天线效应越来越显著。本文介绍了天线效应的原理,
【机 构】
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安徽省淮北市供电公司 安徽淮北235000
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随着现代半导体集成电路工艺的发展,栅的尺寸和氧化层的厚度越来越小,然而互连线的长度却有增加的趋势,这就造成了与之相关的天线效应越来越显著。本文介绍了天线效应的原理,以及修复方法。
With the development of modern semiconductor integrated circuits, the gate size and the thickness of the oxide layer are getting smaller and smaller. However, the length of the interconnection line tends to increase, which causes the antenna effect associated with it to become more and more obvious. This article describes the principle of antenna effects, as well as repair methods.
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