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建立一维自洽流体模型，对低压甚高频等离子体放电中产生的主要粒子建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程。分析了甚高频对纳米粒子的种子离子SiH3^-及电子和正离子SiH3^＋的影响，给出了种子离子、电子以及正离子密度随频率变化的时空演化过程。结果表明改变频率可以改变SiH3^-的密度，从而控制粒子的成核及生长。同时甚高频放电也改变了等离子体中电子和正离子密度以及电场的强度，从而加快等离子体中的化学反应速度和纳米粒子的沉积速度。