【摘 要】
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以氧化铝为基底,利用磁控溅射镀膜设备在其表面制备铜膜,研究退火热处理工艺对铜膜微观形貌和性能的影响。结果表明,退火热处理对氧化铝铜膜的表面粗糙度、电阻率和膜基结合
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以氧化铝为基底,利用磁控溅射镀膜设备在其表面制备铜膜,研究退火热处理工艺对铜膜微观形貌和性能的影响。结果表明,退火热处理对氧化铝铜膜的表面粗糙度、电阻率和膜基结合力均有明显影响。退火热处理后,氧化铝铜膜的表面粗糙度明显增加。
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