Influence of Annealing on Microstructure and Photoluminescence Properties of Al-Doped ZnO Films

来源 :中国稀土学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pluto529

【摘要】

：

Effect of annealing temperature and time on the microstructure and photoluminescence (PL) properties of Al doped ZnO thin films deposited on Si (100) substrates

【作者】

：

Xu Ziqiang Deng Hong Xie Juan

【机构】

：

SchoolofMicroelectronicsandSolid-StateElectronics

【出处】

：

中国稀土学报：英文版

【发表日期】

：

2006年z1期

【关键词】

：

SOL-GEL ZnO∶Al THIN films ANNEALING PHOTOLUMINESCENCE

【基金项目】

：

Project supported by the National Natural Science Foundation of China (60390073)

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