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采用HRS-300A三极磁控反应溅射镀膜设备,可在W18Cr4V高速钢基体上涂覆一层4～5μm厚的硬质TiN膜。找到了一种显示TiN膜微观组织的方法。电镜观察表明,TiN膜由细密柱状晶体组成,是典型的沉积涂层形貌。用X射线衍射法测定的TiN膜的相组成,主要是TiN和Ti_2N。用涂层刀具加工零件,刀具耐用度提高一倍以上。