【摘 要】
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建立了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波放电等离子体中离子输运过程的蒙特卡罗模型。考虑了离子与中性原子的电荷交换碰撞和弹性碰撞，以及精确依赖于离子能量的电荷交换和动量转移截面，模拟了
【机 构】
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三束材料改性国家重点联合实验室复旦大学物理系
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建立了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波放电等离子体中离子输运过程的蒙特卡罗模型。考虑了离子与中性原子的电荷交换碰撞和弹性碰撞，以及精确依赖于离子能量的电荷交换和动量转移截面，模拟了源于氩气ＥＣＲ微波放电的氩离子向衬底输运的过程，得到与实验报道相符的模拟结果。
A Monte Carlo model of ion transport in electron cyclotron resonance (ECR) microwave plasma was established. Considering charge-exchange collisions and elastic collisions of ions with neutral atoms, and the charge exchange and momentum transfer cross sections that are precisely dependent on the ion energy, the transport of argon ions from the argon ECR microwave discharge to the substrate is simulated, resulting in Simulation results consistent with experimental reports.
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