稀土Er离子注入InP的退火及发光特性

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liu033041
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利用离子注入法,以7×10^14/cm^2和1×10^15/cm^2的剂量对InP进行稀土元素Er的掺杂,采用了两种未加淀积膜覆盖的火方式,在10K下均观测到InP中Er^3+1.54μm特征光致发光峰。光致发光(PL)和反射式高能电子衍射给出发光强度和晶格恢复程度与退火条件的依赖关系。结果表明Er^3+在InP中的光激活性在很大程度上取决于InP晶格的恢复。
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