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影响直接外延生长氧化物薄膜的因素有很多，最主要的是保证氧化物薄膜的正确成相和在单晶衬底上成核．直接外延生长时，衬底温度影响到薄膜的成相．衬底温度还影响薄膜的生长动力学，并因此影响薄膜的外延生长取向．由于薄膜是首先在衬底表面成核、成相并生长的，因此衬底材料晶格的影响是不容忽视的．衬底材料（或异质外延材料）与薄膜的相互作用是影响外延生长的最直接因素，而晶格常数失配会造成薄膜样品中存在应力并影响样品性质．利用脉冲激光淀积法，我们成功地外延生长了ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７超导薄膜、Ｓｒ０．５Ｂａ０．５ＴｉＯ３铁电介电薄