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详细研究了氧分压对于反应蒸镀的ITO膜的透光率,方阻的影响。氧分压决定了膜成份的化学计算比和氧空位浓度,适当的选择氧分压可以获得具有高透光率和低方阻的膜。
氧分压对ITO膜性能的影响
【摘 要】
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详细研究了氧分压对于反应蒸镀的ITO膜的透光率,方阻的影响。氧分压决定了膜成份的化学计算比和氧空位浓度,适当的选择氧分压可以获得具有高透光率和低方阻的膜。
【机 构】
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苏州大学物理系,苏州大学物理系
【出 处】
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苏州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1994年1期
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