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基于傅里叶分析的功能谱密度只能反映１／ｆ噪声的整体频率特性，子波变换模极大值能够反映１／ｆ噪声最本质的特征所在。本文将这一特性用于ＭＯＳＦＥＴ１／ｆ噪声的相似性分析。从子波变换模极大值匹配原理出发，定义了一个１／ｆ噪声的相似系数，利用它对不同形成机制、不同微观缺陷状态、不同偏置应力作用下的ＭＯＳＦＥＴ１／ｆ噪声进行了相似性分析，发现它可作为鉴别１／ｆ噪声的物理起源，分析１／ｆ噪声的微观动力学机制，