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本文首先对离子蚀刻的原理和用途作了简短的介绍，接着介绍了ＬＳＫ－６００型离子蚀刻机的设计原 则和结构设计，最后介绍了蚀刻机的实验结果。
LSK-600型离子蚀刻机的研制
【摘 要】
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本文首先对离子蚀刻的原理和用途作了简短的介绍，接着介绍了ＬＳＫ－６００型离子蚀刻机的设计原 则和结构设计，最后介绍了蚀刻机的实验结果。
【机 构】
：
机械工业部沈阳真空技术研究所,机械工业部沈阳真空技术研究所,机械工业部沈阳真空技术研究所,机械工业部沈阳真空技术研究所,机械工业部沈阳真空技术研究所
【出 处】
：
真空
【发表日期】
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1985年06期
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