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报道了适用于真空集热管的中温选择性吸收薄膜的制备和性能。采用磁控反应溅射技术在不锈钢基体上沉积制备的ＡｌＮｘＯｙ－Ａｇ／Ｓ．Ｓ薄膜，ａ－０．９３，ε－０．０６。
中温 AIN_xO_y-Ag/S.S 选择性吸收膜研究
【摘 要】
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报道了适用于真空集热管的中温选择性吸收薄膜的制备和性能。采用磁控反应溅射技术在不锈钢基体上沉积制备的ＡｌＮｘＯｙ－Ａｇ／Ｓ．Ｓ薄膜，ａ－０．９３，ε－０．０６。
【机 构】
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北京市太阳能研究所
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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1996年2期
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