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期刊论文
电容式微传声器的制备研究新进展
电容式微传声器的制备研究新进展
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lansu_0754
【摘 要】
:
本文对近几年来运用单片制备方法,采用硅微机械加工技术(MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述.通过分析和研究指出,将微传声器与其外围电路集成在单片上可降低器件
【作 者】
:
宁瑾
刘忠立
赵慧
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所微电子中心
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
2002年1期
【关键词】
:
电容式微传声器
微机械加工技术
制备
capacitive microphone
MEMS
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本文对近几年来运用单片制备方法,采用硅微机械加工技术(MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述.通过分析和研究指出,将微传声器与其外围电路集成在单片上可降低器件噪声,采用纹膜或复合膜结构可增加器件的灵敏度,根据具体情况优化电极形状和尺寸,可以在很大程度上提高微传声器的性能.
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