非晶硅薄膜太阳能电池生产简述

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简述了非晶硅薄膜太阳能电池基本原理,论述了采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术生产非晶硅薄膜太阳能电池的工艺、产品性能参数及研究发展方向。
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