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提出一种利用收集极在三维空间内通过束流采样进行电子注分析的测量方法，介绍了电子注分析系统中三坐标精密移动工作台的设计与控制。该方法可对电子注发射系统的结构参数，工作性能进行全面测量和分析，为超高频大功率电子器件的研制提供实验手段。
电子注分析系统中三坐标精密工作台的设计与控制
【摘 要】
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提出一种利用收集极在三维空间内通过束流采样进行电子注分析的测量方法，介绍了电子注分析系统中三坐标精密移动工作台的设计与控制。该方法可对电子注发射系统的结构参数，工作
【机 构】
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北京机械工业学院
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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1999年5期
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