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基于测度不变方程的概念和局部等效原理,将截断边界条件的确定归结为网格边界上一小区域的电位场模拟问题,并讨论了在二维,三维情况下的具体处理,该截断边界的确定可使FD法使用的节上一小点数大幅度减少,避了次数众多的数值积分和复杂介质结构带来的格林函数求解的困难。计算实例表明,应用这种截断边界条件的FS法得到的电容计算结果与矩量法和FASTCAP软件所得结果吻合得较好。