【摘 要】
：
为满足半导体产品的高性能化,Low-k(低导电)材料正被使用于层间绝缘膜,但是Low-k材料在灰化(Ashing)过程中由于高温及氧自由基(O-radical)的作用而引起材质变化导致导电率上
【机 构】
：
Shibaura Mechatronics Corporation, Japan
论文部分内容阅读
为满足半导体产品的高性能化,Low-k(低导电)材料正被使用于层间绝缘膜,但是Low-k材料在灰化(Ashing)过程中由于高温及氧自由基(O-radical)的作用而引起材质变化导致导电率上升的问题的发生.为解决这个问题,在ICE设备上开发了灰化Low-k周边的低温处理工艺.Low-k导电率变化系在Low-k表面生成高导电率氧化层所致,所以为减少导电率变化须选择合适的离子源生成尽可能薄的氧化层是非常重要的且已被证明.在这里,Low-k灰化时导电率变化的机理,改善效果及相关运用作个介绍.
其他文献
在FOB条件的国际贸易中，买卖双方被赋予了不同的权利和义务。而托运人作为海上货物运输的主体，与国际贸易合同双方的身份相重叠，导致了托运人定义不清，承运人在实际操作中不容易
业内人士认为,中国是世界上IC设计水平高低不均最为明显的市场,同时也是IC设计产品与整机应用脱节最为严重之地。就EDA工具定义而言,Cadence目前无疑是全定制系统市场领先
T
通过施加动态边界条件和超声振动热效应转化相结合的方法近似处理超声振动边界条件,研究了超声作用下激光熔覆SiC/316L复合涂层的残余应力,并探讨了超声振幅和扫描速度对复合
路过操场，一阵阵清香从空中飘来，在这闷热的下午，一个激灵，像一股带着花香的春风吹进我躁动不安的心里，吹来了愉悅，吹走了烦闷。 我迫不及待地四处寻找这香气来自哪里，可除了操场边上那一棵棵刚爆出新芽的香樟树外，别无他物。我不喜欢这香樟树。犹记得初春时，香樟树叶子呈现出五彩斑斓的颜色，红得像灯笼，黄得像蝴蝶，虽然看起来，黄绿相间、缤纷美丽，但风一吹，便纷纷扬扬飘落下来，这些叶子像调皮的小精灵一样，洒满
随着我国经济的发展,高等教育日益走向大众化,高职教育作为我国高等教育的一部分,近年来得到了迅猛的发展,高职教育教学的研究也越来越受到重视。高职教育是培养以职业能力为
在当前我国高等教育当中,高等职业教育作为其中不可或缺的重要组成部分,肩负着为社会培养顺应发展的生产、建设、管理与服务等的高等技术应用人才的重要使命。本文通过对高职
制造业被认为是一国工业实力的重要体现.当前,我国制造业发展正面临多方面的转型压力.为促进我国制造业转型升级,必须重视产业组织优化政策的作用.虽然日本国内经济增长持续
自2010年以来，政府出台了一系列房地产调控政策。在房地产调控政策的严厉打压下，再加上银行信贷政策的紧缩、预收房款的专项使用等一系列组合拳政策，这些调控政策给房地产企业的
工程领域中的数字设计人员和数字电路板设计专家在不断增加,这反映了行业的发展趋势.尽管对数字设计的重视带来了电子产品的重大发展,但仍然存在,而且还会一直存在一部分与模
应用改造的原子力显微镜 (AFM )作为传感系统 ,配合精密回转气浮轴系和三维微定位装置 ,实现了对激光核聚变靶球圆周方位形状误差的精密测量。采用该测量技术获得的靶球表面