非均匀电场中电子在H2／CH4混合气体中运动的数值模拟

来源 :河北大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shi12345600

【摘要】

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用Monte Carlo数值模拟方法研究了辉光等离子体辅助化学气相沉积法(GPCVD)低温合成金刚石的过程中,电子在H2/CH4混合气体中的运动.本文在数值模拟中,采用非匀强电场,并考虑了

【作者】

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辛红丽韩佳宁赵庆勋文钦若

【机构】

：

河北大学

【出处】

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河北大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

MonteCarlo方法等离子体电子运动氢气甲烷混合气体金刚石薄膜 GPCVD 数值模拟 Monte Carlo simulation plasm

【基金项目】

：

河北省自然科学基金

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用Monte Carlo数值模拟方法研究了辉光等离子体辅助化学气相沉积法(GPCVD)低温合成金刚石的过程中,电子在H2/CH4混合气体中的运动.本文在数值模拟中,采用非匀强电场,并考虑了电子的雪崩过程,实现了对须跟踪的粒子数不断增长的系统的Monte Carlo模拟,给出了电子的能量分布及角分布.

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