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本文基于三维频域有限差分法（ＦＤＦＤ）建立了多层微波集成无源电路及互连结构的全波分析通用软件，对一些典型的无源器件，例如微带滤波器通孔的Ｓ参数的全波分析结果与有关文献对比一致，验证了该方法的正确性，在结构离用化过程中采用限非均匀网格剖分天网格截断边界上联采用了三种吸收边界条件，以最大限度地压缩形成的稀疏矩阵的阶数，对 疏矩阵方程采用压缩存储技术和快速迭解法，以有铲地减少所需内存和计算时间。