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微机电系统（MEMS）技术是一门新兴的技术，它将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起，实现了微电子与机械的融为一体，近年来，对MEMS的技术发展，加工工艺及其产业化的研究也被越来越多的人所重视。文章介绍了MEMS的特点与技术发展现状，MEMS器件的类型及其功能，并以多层弯曲磁芯结构微执行器为例介绍了磁驱动微执行器工作原理与制作工艺过程。