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介绍了光刻胶的性能和反应机理，建立了光刻模型，讨论了曝光和显影对信息符的综合影响并对信息符形貌进行了仿真，着重分析刻录激光光斑能量分布对不同周期记录符的影响。以Shipley AZ1350光刻胶和相应的显影液以及DVD母盘的生产为例，验证了仿真的正确性。
母盘刻录中信息符成形模拟与实验研究
【摘 要】
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介绍了光刻胶的性能和反应机理，建立了光刻模型，讨论了曝光和显影对信息符的综合影响并对信息符形貌进行了仿真，着重分析刻录激光光斑能量分布对不同周期记录符的影响。以Shiple
【机 构】
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清华大学光盘国家工程研究中心
【出 处】
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光电子·激光
【发表日期】
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2006年3期
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