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期刊论文
SiO2膜针孔的分析与检测
SiO2膜针孔的分析与检测
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zuo541018125
【摘 要】
:
本文分析了SiO_2膜的针孔模型及漏电机理,讨论了针孔密度的概念,并用EPW(乙二胺-邻苯二酚水溶液)法和漏电流法分析了针孔与漏电流的关系,给出了SiO_2膜无明显针孔的判据。
【作 者】
:
赵策洲
张德胜
顾瑛
胡刚毅
郭林
张正元
【机 构】
:
西安电子科技大学微电子研究所,四川重庆电子工业部第24研究所
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
1994年6期
【关键词】
:
针孔
漏电流
光刻
二氧化硅薄膜
SiO_2 film
Pin-hole
Leakage current
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本文分析了SiO_2膜的针孔模型及漏电机理,讨论了针孔密度的概念,并用EPW(乙二胺-邻苯二酚水溶液)法和漏电流法分析了针孔与漏电流的关系,给出了SiO_2膜无明显针孔的判据。
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