【摘 要】
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为了研究InAlN材料的光学参数随温度的变化特性,采用变温椭圆偏振光谱(25~600℃)测量技术对InAlN合金材料在193~1650nm宽光谱范围内进行了表征。利用Tauc-Lorentz振子模型描
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61504030,61367004),广西特聘教授(八桂人才和八桂学者)专项经费资助项目
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为了研究InAlN材料的光学参数随温度的变化特性,采用变温椭圆偏振光谱(25~600℃)测量技术对InAlN合金材料在193~1650nm宽光谱范围内进行了表征。利用Tauc-Lorentz振子模型描述和拟合变温椭偏光谱测量数据,得到了InAlN薄膜的光学常数(n、k和α)随温度的变化曲线。由变化曲线可见,在温度50~600℃,光学带隙从4.56eV减小到4.35eV,折射率峰值对应的能量则从4.61eV减小到4.37eV。两者都随温度升高而减小,其变化规律符合Varshni方程的预期。结果表明,在600
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