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ES势垒随台阶高度变化对薄膜生长的影响
ES势垒随台阶高度变化对薄膜生长的影响
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ted_yu
【摘 要】
:
建立一个模拟薄膜三维生长的蒙特卡罗模型,模型中Ehrlich—Schwoebel(ES)势垒随台阶高度不同而变化。模拟结果表明:考虑ES势垒时,随着基底温度升高和沉积速率的降低,薄膜的粗糙度越
【作 者】
:
李德钦
唐吉玉
崔婧
李培
王茜
【机 构】
:
华南师范大学物理与电信工程学院
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
2013年5期
【关键词】
:
薄膜
ES势垒
台阶高度
粗糙度
覆盖率
thin film
Ehrlich-Schwoebel barrier
step height
roughnes
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建立一个模拟薄膜三维生长的蒙特卡罗模型,模型中Ehrlich—Schwoebel(ES)势垒随台阶高度不同而变化。模拟结果表明:考虑ES势垒时,随着基底温度升高和沉积速率的降低,薄膜的粗糙度越来越低,成膜质量越好;一层ES势垒和层间势垒差对薄膜生长机制和成膜质量都有影响。
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