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在研究与应用气相沉积方法的过程中,如何准确地评价膜与基体的结合强度一直是有待解决的问题。本文提出了用四点弯曲定性分析膜基结合强度的方法,并推导出定量计算膜基结合强度的公式。
高速钢与TiN膜结合强度计算方法的探讨
【摘 要】
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在研究与应用气相沉积方法的过程中,如何准确地评价膜与基体的结合强度一直是有待解决的问题。本文提出了用四点弯曲定性分析膜基结合强度的方法,并推导出定量计算膜基结合强
【出 处】
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机械科学与技术
【发表日期】
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1992年4期
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