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采用非平衡磁控溅射法制备了2种不同结构的TiO2薄膜，对所得TiO2薄膜分别运用碱处理和酸处理2种化学方法进行表面处理，期望在材料表面获得羟基活性基团。运用X射线衍射（XRD）、X射线光电子能谱仪（XPS）等手段研究了薄膜的表面结构、成分等。利用傅立叶红外技术（FTIR）对活化处理前后样品表面的羟基基团进行检测，同时利用四探针测试仪对薄膜的电阻率进行了测量。结果表明，运用碱处理和酸处理2种方法，可以在锐钛矿型TiO2薄膜表面形成活性羟基基团；相比于金红石型TiO2薄膜，锐钛矿型具有较好的羟基活化能力。