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1 前言氧、氮、氢、氩等各种工业气体得到了广泛应用,它们的使用目的和纯度繁多。近年来,这些工业用气的纯度越来越高,甚至有的高纯气体的杂质总量已达0.1×10<sup>-6</sup>以下。要准确分析高纯气中的杂质浓度及混合气成份浓度,对气体纯度和浓度的监督管理是很重要的。这是气体分析技术方面的一个难题。