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用Ｗ－Ｍ模型模拟了分形表面并用所设计的分形算法对其进行分形分析，分析结果与理论值相符，最后，用该分形算法对ＳＴＭ检测的超精密表面微观形貌进行分析．
基于分形特征的表面微观形貌模拟和分析
【摘 要】
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用Ｗ－Ｍ模型模拟了分形表面并用所设计的分形算法对其进行分形分析，分析结果与理论值相符，最后，用该分形算法对ＳＴＭ检测的超精密表面微观形貌进行分析．
【机 构】
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机械科学与工程学院
【出 处】
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华中理工大学学报
【发表日期】
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1996年7期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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