【摘 要】
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据 GCA/Bnrlington Division 公司报道,该公司研制出的“4500型片子分步机”可制作提高 DSW 片子步进机生产率和减小图形发生器工作量的“组合图形”。4500型片子分步机用1
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据 GCA/Bnrlington Division 公司报道,该公司研制出的“4500型片子分步机”可制作提高 DSW 片子步进机生产率和减小图形发生器工作量的“组合图形”。4500型片子分步机用1倍的单元图形制作出供 DSW 使用的“组合图形”。据称通过一倍的放大,该装置在整个90毫微米的象场直径上可制作出20毫微米乃至更
According to a report by GCA / Bnrlington Division, the company developed the “4500 Tabs Stepper” to create “composite graphics” that enhance the productivity of DSW film steppers and reduce the workload of the pattern generator. 4500-type film stepper with 1 times the cell graphics for DSW use the “combination of graphics.” Allegedly through double the magnification, the device can be produced in the entire 90 nanometer image field diameter of 20 nm or even more
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