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本文介绍了一系列利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的试验，腐蚀液为硝酸和氢氟酸的混合溶液，添加了醋酸稀释液是为了降低反应速度。通过优化各种参数，获得了腐蚀速度平缓，适合工业生产的多晶硅绒面，绒面分布均匀。随着反应的进行，腐蚀坑由微裂纹状转变为气泡状，经反射率测定表明绒面达到了较好的减反效果。
各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面
【摘 要】
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本文介绍了一系列利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的试验，腐蚀液为硝酸和氢氟酸的混合溶液，添加了醋酸稀释液是为了降低反应速度。通过优化各种参数，获得了腐蚀速度平缓，适合工
【机 构】
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华南理工大学机械工程学院,中山大学物理科学与工程技术学院
【出 处】
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材料科学与工程学报
【发表日期】
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2007年1期
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