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微电子器件中引出线联结行为的金相研究
微电子器件中引出线联结行为的金相研究
来源 :上海金属:有色分册 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hrwhrw
【摘 要】
:
利用光学和电子显微镜来评价微电子器件中集成电路和外部系统载体之间的电气连接,研究线的结构,焊接处和扩散区的形态,将有助于提高微电子器件的可靠性和寿命。
【作 者】
:
曹颜须
【机 构】
:
天津市有色金属研究所天津300142
【出 处】
:
上海金属:有色分册
【发表日期】
:
1992年1期
【关键词】
:
微电子器件
球焊
焊区
金相
结构
Microeletronic devicesBall bondingSoldering zoneMetallographSt
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利用光学和电子显微镜来评价微电子器件中集成电路和外部系统载体之间的电气连接,研究线的结构,焊接处和扩散区的形态,将有助于提高微电子器件的可靠性和寿命。
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