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为机械微设备的动力学的先进测试方法是必要的开发可靠、可销售的微机电的系统。为测量显微镜的结构的纳米运动的一个系统被表明了。一个目标的站行动图象与计算机被获得了微视觉,显微镜的 interferometry,和频闪观测仪的发光器。它能为测量 in-plane-rigid-body 运动,表面形状, out-of-plane 运动和微观结构的变丑被开发。亚象素步长关联模板匹配的一个新算法被建议从视觉 images.Hariharan 提取在里面飞机排水量五步的阶段移动 interferometry 算法和 u