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本文介绍最近几年国外在纳米微米技术的最新发展，以及今后发展的趋势，并介绍一些国外最新成果。
微米技术发展近况
【摘 要】
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本文介绍最近几年国外在纳米微米技术的最新发展，以及今后发展的趋势，并介绍一些国外最新成果。
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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1997年3期
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