【摘 要】
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SOI光波导是硅基光波导器件的基础 ,也是实现其它集成光学器件的基础。文章论述了 SOI材料、SOI光波导以及 SOI光波导开关的一些特性和研究进展。
SOI optical waveguide is
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室!北京100083,中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室!北京100083
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SOI光波导是硅基光波导器件的基础 ,也是实现其它集成光学器件的基础。文章论述了 SOI材料、SOI光波导以及 SOI光波导开关的一些特性和研究进展。
SOI optical waveguide is the basis of silicon-based optical waveguide devices, but also to achieve the basis of other integrated optical devices. The article discusses some characteristics and research progress of SOI materials, SOI optical waveguides and SOI optical waveguide switches.
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