Si衬底上Mg(0.3)Zn(0.7)O薄膜结构及光学性能

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采用溶胶-凝胶旋涂法在Si衬底上制备了Mg0.3Zn0.7O薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见荧光光谱仪和紫外-可见分光光度仪测试了Mg0.3Zn0.7O薄膜的结构和光学性能。结果表明:Si衬底上Mg0.3Zn0.7O薄膜以六方相ZnO纤锌矿为主,存在少部分立方相MgO,薄膜均匀,平均粒径约为40nm。吸收光谱中吸收边位于313nm,相应的带隙为3.96eV。发光光谱是峰值位于421nm的宽带谱,激发光谱范围宽,具有近紫外激发优势。
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