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利用离子束混合方法在Sm质量分数为20%的Sm-Fe多层薄膜中,当注入能量为60keV的N离子时,成功地制备出Sm-Fe-N磁性薄膜,经透射电镜(TEM)和X射线衍射(XRD)分析发现:当N离子的注入剂量为1×10^17/cm^2时,形成Sm2Fe17Nx磁性薄膜;而N离子的注入剂量为2×10^17/cm^2时,Sm-Fe多层薄膜转变成非晶磁性薄膜,而且Sm2Fe17Nx磁性薄膜和Sm-Fe-N非