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本文主要介绍了利用PVD方法研究制透可见及近红外(1.064μm)、反10.6μm的分色镜的初步研究。采用金属—介质组合膜方案设计分色镜的膜系,对金属及介质材料进行优选,设计并采用可行的镀制工艺和镀后处理工艺。所制得的分色镜在光学性能,激光阈值,机械强度及化学稳定性等方面获得了比较理想的效果。
红外高能激光分色镜的初步研究
【摘 要】
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本文主要介绍了利用PVD方法研究制透可见及近红外(1.064μm)、反10.6μm的分色镜的初步研究。采用金属—介质组合膜方案设计分色镜的膜系,对金属及介质材料进行优选,设计并采
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所长春130022
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1993年5期
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