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改良西门子法生产多晶硅中，四氯化硅氢化工艺操作步骤繁琐且多为手动操作，很难将各项工艺指标进行精确控制。实际生产中，不断进行工艺优化及操作改进，现有HoneywellEPKS平台进行自动程序设计及应用，增加多项自动连锁控制，实现了工艺生产过程程序控制。
HoneywellEPKS平台下实现四氯化硅氢化工艺程序控制
【摘 要】
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改良西门子法生产多晶硅中，四氯化硅氢化工艺操作步骤繁琐且多为手动操作，很难将各项工艺指标进行精确控制。实际生产中，不断进行工艺优化及操作改进，现有HoneywellEPKS平台进行
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
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云南冶金
【发表日期】
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2013年6期
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